大基金等三方增资中芯南方 30 亿美元助力扩产，国产半导体设备添机遇

5 月 15 日中芯国际公告：中芯南方（中芯控股、国家集成电路基金、上海集成电路基金共同投资建立，专注 14nm 及以下工艺和制造技术）投资总额将扩至 90.59 亿美元，注册资本由 35 亿美元增至 65 亿美元，其中国家集成电路基金 II、上海集成电路基金 II、中芯控股将分别增资 15、7.5、7.5亿美元。我们认为，同时考虑中芯国际拟赴科创板上市、2020 年资本开支上调 11 亿美元等积极因素，先进制程投资扩产有望加快，并释放更大设备需求，在半导体设备自主可控需求迫切的环境下，国产设备企业有望受益。推荐北方华创、中微公司、长川科技，关注华峰测控、晶盛机电、芯源微。

本土晶圆厂扩产进程高速推进，中国半导体设备需求成长韧性强劲

据 SEMI 于 2019 年 12 月预测，2020、2021 年中国大陆半导体设备销售额增速将分别达 16%、10%，明显领先全球增速。我们认为，虽然海外疫情扩散或对全球半导体产业景气度带来一定不确定性，全球设备市场增速或低于 SEMI 此前预测，但值得关注的是，中国本土晶圆厂扩产并未因疫情而放缓（据中芯国际公告、长江存储官网，目前中芯南方 14nm 晶圆月产能已提升至 6 千片，将逐步实现 3.5 万片产能目标；长江存储扩产及研发稳步推进，2020 年 128 层 QLC 3D NAND 闪存研发成功并在终端产品上通过验证），本土晶圆厂逆周期扩产下国内设备需求有望保持较快增长。

内资晶圆厂扩产提供设备进口替代机会，设备国产化水平正在稳步提升

目前中芯国际、长江存储、合肥长鑫等本土晶圆厂分别在逻辑电路、3DNAND、DRAM 存储芯片领域布局先进制程产能且技术逐步成熟，为国产设备提供了验证试用平台和进口替代机会，设备国产化正取得阶段性突破。

以长江存储为例，据中国国际招标网公告，国产设备 17 年至今累计中标份额如下：1）刻蚀设备：中微公司 16%、北方华创 4%；2）CVD 设备：沈阳拓荆 3%；3）PVD 设备：北方华创 30%；4）工艺检测设备：精测电子1%、上海睿励 1%；5）热处理设备：北方华创 26%；6）清洗设备：盛美半导体 28%；7）测试机：精测电子 2%；8）CMP 设备：华海清科 23%。

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目前国内半导体设备产业体系逐步完善，优势企业初步具备进口替代能力，我们认为以下企业是具备较高技术水平的国产装备龙头。上市公司包括：北方华创（产品品类覆盖广的本土装备龙头）、中微公司（刻蚀机供应国内外一线晶圆厂）、长川科技（探针台、数字测试机新品蓄力）、华峰测控（测试机本土领先企业）、晶盛机电（硅片制造设备）、芯源微（涂胶显影设备、湿法设备），非上市公司包括：上海微电子（光刻设备）、沈阳拓荆（薄膜沉积设备）、中科仪（真空获得设备、薄膜沉积设备）、盛美半导体（清洗设备）、华海清科（CMP 设备）、南京晶升能源（硅片制造设备）等。